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原创 清华大学研发出EUV光刻胶?但没有EUV光刻机,又有什么用?

目前该成果,已经发表在核心期刊上,而这种材料和技术,为中国研发出EUV光刻胶,提供了可行路径,也就是说可能很快中国就会研发出自己的EUV光刻胶了。

目前该成果,已经发表在核心期刊上,而这种材料和技术,为中国研发出EUV光刻胶,提供了可行路径,也就是说可能很快中国就会研发出自己的EUV光刻胶了。

原创             清华大学研发出EUV光刻胶?但没有EUV光刻机,又有什么用?

要知道目前全球的EUV光刻胶,几乎都掌握在日本企业手中,不仅仅是EUV光刻机,先进的ArF光刻胶,也掌握在日本企业手中。

中国能够研发出来的光刻机,主要还是KrF光刻胶,以及一些不那么先进的ArF,从工艺来看,大约还处于40nm-65nm阶段。

而EUV光刻胶,可是用于7nm及以下工艺的,从40nm跨进至7nm以下了,所以这确实是一个重大突破,值得大家兴奋。

原创             清华大学研发出EUV光刻胶?但没有EUV光刻机,又有什么用?

但是在兴奋之作,我们也要想一想,那就是EUV光刻胶,是与EUV光刻机配合的,用于7nm以下的芯片制造的,没有EUV光刻机的话,EUV光刻胶除了卖给别人,对我们实际用处并不大。

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在芯片的生产制造中,需要几百种设备、几百种材料,这些设备、材料缺一不可,就没有替代品,EUV光刻胶只是材料的一种,EUV光刻机是设备的一种,缺一不可。

原创             清华大学研发出EUV光刻胶?但没有EUV光刻机,又有什么用?

目前全球仅有ASML一家有制造EUV光刻机的能力,且ASML的EUV光刻机,不准卖给中国,所以我们要想有自己的EUV光刻机,必须进行自研。

但EUV光刻机的研发难度太大了,从光源,到物镜系统,到工作台,都是难度非常非常大的,有人甚至认为,它比原子弹的研发还难度高。

ASML目前的EUV光刻机,在全球有上千家供应商,很多供应商甚至是唯一的,还与ASML签订了独家协议,所以我们要研发出EUV光刻机,需要重建这么一个庞大的供应链体系。

原创             清华大学研发出EUV光刻胶?但没有EUV光刻机,又有什么用?

所以啊,真的是“革命远未成功,同志还需努力”,目前国产EUV光刻胶其实还在理论室验室里,而EUV光刻机则可能差的更远,大家还得继续加油,只有EUV光刻机、EUV光刻胶全解决了,我们才能真正不怕被卡脖子。

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作者: wczz1314

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